提高芯片粘合的准确性
半导体行业的一个持续目标是增加每片晶圆的芯片数量,从而实现更低的制造成本。然而,芯片越小,越脆弱,就越难处理。特别是在后处理过程中,如分离、装配、抓取和封装,模具系统必须克服重大挑战。这同样适用于其它光学元件。
来自巴登州Bühl的Amadyne公司是电子放置和处理系统的专家。像SAM42系列这样的系统掌握了所有的后处理步骤,因此提供了巨大的灵活性。但这个系统并不像听起来那么简单。特别是接触的过程,即所谓的接合,特别是芯片接合,对系统的要求很高。尺寸在200µm和40mm边长之间的敏感元件必须用真空抓取器放置在外壳或电路板上,其精确度为几微米。
Amadyne决定用fab1设计一个全新的安置系统,它以SAM42系列的经验为基础。然而,所有重要的子系统都要根据目前的技术水平重新实施。此外,其目的是以几乎两倍的价格提供更高的精度和五倍的吞吐量。基本的技术设计差异是:从Windows改为具有当前内核的Linux,采用当前的LabVIEW作为开发系统,线性伺服电机,分散的I/O硬件,1-3倍的数字VGA和视觉软件的特殊开发。对于光学部分,我们寻求一个具有性价比高的相机系统,并具有良好的Linux支持和快速的数字总线系统,这将提供高质量的图像,可以在下游软件中轻松处理。
最后,经过全面的市场分析,决定使用 mvBlueFOX。做出这一决定的主要原因是紧凑和坚固的设计,有一个以C/C++语言编写的完善的Linux框架,USB 2.0接口,有多种兼容系列的传感器,以及高的性价比。事实证明,使用USB作为现场连线是没有问题的。巨大的成本优势并没有被任何可识别的劣势所抵销。得益于精心设计的软件,以最小的努力实现了与项目的整合。在光学方面,mvBlueFOX配备了现有的模拟相机光学器件的轻微修改版本。这个简单的光学仪器的结果已经超过了预期。在标准设置中,没有可测量的图像噪声,图像具有丰富的对比度,没有人工痕迹。这个传感器可以实现的东西完全到达了应用中。在原型阶段,还进行了电气和机械坚固性的测试。该相机可以毫无怨言地承受相当大的纵向和横向加速度,并显示出极高的抗电磁干扰能力。