USB2.0工业相机作为白光干涉仪

白光干涉仪由几个部分组成：一个光源、一个分光器、一个参考镜和一个相机。光束由分光器分出，其中一束光射向参考镜，另一束射向被测物体并反射。两个反射光束叠加在一起，形成一个干涉图像。从参考镜到分光器的距离产生了从分光器到物体的假想参考平面。物体在Z方向上的微小位移会改变干扰模式，这被相机以亮度波动的形式感知到。然而，必须注意的是，只有当参考镜和物体表面之间的长度差小于相干长度时，才会出现干涉图案。

软件对干扰进行评估，并将高度值分配给相应的像素。这产生了一个具有非常低的测量不确定性的物体高度图像。因此，白光干涉仪结合了已知触觉传感器的优点和光学传感器的优点：高测量精度和高数据率。

作为µKORAD3D的相头，3D-Shape使用了MATRIX VISION的USB 2.0相头mvBlueFOX。除了相机的良好性价比外，质量也令人信服，因为它完全符合μKORAD3D的规格。MATRIX VISION公司的完整摄像机方案与3D-Shape公司的解决方案有类似的控制系统，事实证明，与现有软件的整合很容易，而且它将长期存在的前景也促成了支持该相机的决定。

白光干涉仪的应用范围

白光干涉仪有许多可能的应用。该测量系统既适用于随机抽样应用，也适用于生产中的100%质量控制，与扫描的同类产品相比，不仅有剖面线，而且有表面可供评估。

例如，在质量控制期间，可以用白光干涉仪检查一个电气元件的表面，然后根据所得的测量数据确定直径和高度。